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发明名称 Microelectronic circuit struture and its manufacturing method
摘要
申请公布号 EP0631322(B1) 申请公布日期 1997.07.30
申请号 EP19940107005 申请日期 1994.05.04
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 HOFMANN, KARL R., DR;SCHULZ, MAXIMILIAN, PROF.DR.
分类号 H01L21/265;H01L21/3105;H01L21/335;H01L21/336;H01L29/12;H01L29/423;H01L29/66;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/15;H01L21/311 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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