| 发明名称 |
KORYOCHOSEISOCHIOYOBIKORYOCHOSEIHOHO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2636321(B2) |
申请公布日期 |
1997.07.30 |
| 申请号 |
JP19880102680 |
申请日期 |
1988.04.27 |
| 申请人 |
NIKON KK |
发明人 |
TANIMOTO SHOICHI;SUZUKI KAZUAKI |
| 分类号 |
G01J1/42;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G01J1/42 |
主分类号 |
G01J1/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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