发明名称 DORAIPUROSESUKOOTEINGUKAKOHOHOOYOBIKAKOSOCHI
摘要
申请公布号 JP2634536(B2) 申请公布日期 1997.07.30
申请号 JP19920152035 申请日期 1992.06.11
申请人 SAKAE DENSHI KOGYO KK;OOBA KAZUO;SHIMA YOSHINORI;OOBA AKIRA 发明人 OOBA KAZUO;SHIMA YOSHINORI;OOBA AKIRA
分类号 C23C16/50;C23C16/02;C23C16/04;C23C16/511;C23C16/515;C23C16/54;H01J37/32;H01L21/31;H05K3/40;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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