发明名称 |
DORAIPUROSESUKOOTEINGUKAKOHOHOOYOBIKAKOSOCHI |
摘要 |
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申请公布号 |
JP2634536(B2) |
申请公布日期 |
1997.07.30 |
申请号 |
JP19920152035 |
申请日期 |
1992.06.11 |
申请人 |
SAKAE DENSHI KOGYO KK;OOBA KAZUO;SHIMA YOSHINORI;OOBA AKIRA |
发明人 |
OOBA KAZUO;SHIMA YOSHINORI;OOBA AKIRA |
分类号 |
C23C16/50;C23C16/02;C23C16/04;C23C16/511;C23C16/515;C23C16/54;H01J37/32;H01L21/31;H05K3/40;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/50 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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