Piezoelectric/electrostrictive actuator having ceramic substrate with auxiliary windows in addition to pressure chamber windows,申请号EP19940301276-传众专利搜索

发明名称	Piezoelectric/electrostrictive actuator having ceramic substrate with auxiliary windows in addition to pressure chamber windows
摘要
申请公布号	EP0613196(B1)	申请公布日期	1997.07.30
申请号	EP19940301276	申请日期	1994.02.23
申请人	NGK INSULATORS, LTD.;SEIKO EPSON CORPORATION	发明人	TAKEUCHI, YUKIHISA;MASUMORI, HIDEO;TAKEUCHI, KATSUYUKI
分类号	B06B1/06;H01L41/083;H01L41/09;(IPC1-7):H01L41/09;B41J2/045	主分类号	B06B1/06
代理机构		代理人
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