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发明名称
Impurity doped polysilicon growth apparatus
摘要
申请公布号
GB2309590(A)
申请公布日期
1997.07.30
申请号
GB19970001444
申请日期
1997.01.24
申请人
* NEC CORPORATION
发明人
TAKAO * AKIYAMA
分类号
H01L21/285;C23C16/24;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;H01L21/205;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
H01L21/285
代理机构
代理人
主权项
地址
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