发明名称 Impurity doped polysilicon growth apparatus
摘要
申请公布号 GB2309590(A) 申请公布日期 1997.07.30
申请号 GB19970001444 申请日期 1997.01.24
申请人 * NEC CORPORATION 发明人 TAKAO * AKIYAMA
分类号 H01L21/285;C23C16/24;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;H01L21/205;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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