发明名称 HANDOTAISOCHINOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2635367(B2) 申请公布日期 1997.07.30
申请号 JP19880110892 申请日期 1988.05.07
申请人 FUJITSU KK 发明人 HASEGAWA MICHIHIKO
分类号 H01L21/302;H01L21/265;H01L21/3065;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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