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发明名称 HANDOTAIFUREEMUHANSOSOCHIOYOBIHANSOHOHO
摘要
申请公布号 JP2635175(B2) 申请公布日期 1997.07.30
申请号 JP19890194002 申请日期 1989.07.28
申请人 MITSUBISHI DENKI KK 发明人 ISHIZUKA MITSUHIRO
分类号 B65G47/90;B65G25/02;B65H5/10;H01L21/50;(IPC1-7):H01L21/50 主分类号 B65G47/90
代理机构 代理人
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