FORMATION OF THIN FILM,申请号JP19960008619-传众专利搜索

发明名称	FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号	JPH09195044(A)	申请公布日期	1997.07.29
申请号	JP19960008619	申请日期	1996.01.22
申请人	TOYOTA MOTOR CORP;HANABUSA MITSUGI	发明人	NAKAMURA NAOKI;HASEGAWA HIROSHI;HANABUSA MITSUGI
分类号	C23C14/46;C23C14/22;C23C14/28;H01L21/203;H01L21/268;H01L21/314;(IPC1-7):C23C14/46	主分类号	C23C14/46
代理机构		代理人
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