| 发明名称 |
PRODUCTION OF EPITAXIAL WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09194296(A) |
申请公布日期 |
1997.07.29 |
| 申请号 |
JP19960004284 |
申请日期 |
1996.01.12 |
| 申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO LTD;TOSHIBA MACH CO LTD |
发明人 |
OHASHI TADASHI;MITANI SHINICHI;HONDA YASUAKI |
| 分类号 |
C30B29/06;C23C16/24;C30B25/02;H01L21/205;(IPC1-7):C30B29/06 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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