| 发明名称 |
PRODUCTION OF SILICON CARBIDE WAFER AND WAFER OF 4H SILICON CARBIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09193137(A) |
申请公布日期 |
1997.07.29 |
| 申请号 |
JP19960004891 |
申请日期 |
1996.01.16 |
| 申请人 |
KURII RES INC |
发明人 |
KUROODO GUREI SATSUGU JIYUNIAA;JIYON ADAMU EDOMONDO |
| 分类号 |
B23H1/00;B28D5/04;(IPC1-7):B28D5/04 |
主分类号 |
B23H1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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