| 发明名称 |
METALLIC THIN FILM AND ITS FORMATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09194293(A) |
申请公布日期 |
1997.07.29 |
| 申请号 |
JP19960006963 |
申请日期 |
1996.01.19 |
| 申请人 |
MURATA MFG CO LTD |
发明人 |
NAKANISHI HIDEFUMI;SAKURAI ATSUSHI;KOBAYASHI MASATO;YOSHINO YUKIO |
| 分类号 |
C30B29/02;C23C14/48;C30B29/52;(IPC1-7):C30B29/02 |
主分类号 |
C30B29/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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