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发明名称 THIN FILM ACTUATED MIRROR ARRAY FOR USE IN AN OPTICAL PROJECTION SYSTEM AND METHOD FOR THE MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 HUT76217(A) 申请公布日期 1997.07.28
申请号 HU19960002405 申请日期 1995.03.02
申请人 DAEWOO ELECTRONICS CO. LTD. 发明人 JI,JEONG BEOM;MIN,YONG KI
分类号 H04N9/31;G02B26/08;H01L27/20;H01L41/09;H04N5/74;(IPC1-7):H04N9/31 主分类号 H04N9/31
代理机构 代理人
主权项
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