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发明名称 IONENSTRAHL-AUSTASTVORRICHTUNG UND VERFAHREN
摘要
申请公布号 DE69220513(D1) 申请公布日期 1997.07.24
申请号 DE19926020513 申请日期 1992.03.30
申请人 MICRION CORP., PEABODY, MASS., US 发明人 EDWARDS, DAVID, JR., HAMILTON, MA 01982, US;WARD, BILLY, W., ROCKPORT, MA 01966, US
分类号 H01J37/09;H01J37/04;H01J37/147;H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/30 主分类号 H01J37/09
代理机构 代理人
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