Verfahren zur Herstellung eines Überzuges durch chemische Abscheidung aus der Dampfphase mittels Plasma,申请号DE19936011611-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Herstellung eines Überzuges durch chemische Abscheidung aus der Dampfphase mittels Plasma
摘要
申请公布号	DE69311611(D1)	申请公布日期	1997.07.24
申请号	DE19936011611	申请日期	1993.03.23
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., KADOMA, OSAKA, JP	发明人	TAKAHASHI, KIYOSHI, IBARAKI-SHI, OSAKA-FU 567, JP;MURAI, MIKIO, HIRAKATA-SHI, OSAKA-FU 573-01, JP;ODAGIRI, MASARU, KAWANISHI-SHI, HYOGO-KEN 666-01, JP;UEDA, HIDEYUKI, TAKATSUKI-SHI, OSAKA-FU 569, JP;OHCHI, YUKIKAZU, KADOMA-SHI, OSAKA-FU 571, JP;HIWATASHI, TATSUYA, KIKUCHI-GUN, KUMAMOTO-KEN, 861-11, JP
分类号	C23C16/26;C23C16/44;C23C16/50;C23C16/54;(IPC1-7):C23C16/50;C23C28/00;G11B5/84	主分类号	C23C16/26
代理机构		代理人
主权项
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