VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MIKROSTRUKTURKÖRPERN,申请号DE19945003202-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MIKROSTRUKTURKÖRPERN
摘要
申请公布号	DE59403202(D1)	申请公布日期	1997.07.24
申请号	DE19945003202	申请日期	1994.08.13
申请人	FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH, 76133 KARLSRUHE, DE	发明人	EL-KHOLI, AIDA, 76344 EGGENSTEIN-LEOPOLDSHAFEN, DE;PANTENBURG, FRANZ-JOSEF, D-76646 BRUCHSAL, DE;MOHR, JUERGEN, D-75056 SULZFELD, DE;RENDL, ERWIN, D-76149 KARLSRUHE, DE
分类号	G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
主权项
地址