发明名称 HANDOTAISOCHOKYAPASHITA
摘要
申请公布号 JP2633605(B2) 申请公布日期 1997.07.23
申请号 JP19880047421 申请日期 1988.03.02
申请人 TOSHIBA KK 发明人 MORYAMA USHIMATSU
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/824 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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