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发明名称 2SOTABTEEPUNOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2633999(B2) 申请公布日期 1997.07.23
申请号 JP19910125647 申请日期 1991.03.12
申请人 SUMITOMO BEEKURAITO KK 发明人 YAMAMORI YOSHUKI;NAKAO TOSHIO;MIKAMI SHINICHI;TOCHIMOTO TAKUYA
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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