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发明名称 Ion neutralizer
摘要
申请公布号 EP0510581(B1) 申请公布日期 1997.07.23
申请号 EP19920106796 申请日期 1992.04.21
申请人 EBARA CORPORATION 发明人 NAGAI, KAZUTOSHI;SATAKE TOHRU;HAYASHI, HIDEAKI;HATADA, YOSHIO
分类号 C23C14/48;G21K1/14;H01J27/20;H01J37/08;(IPC1-7):G21K1/14 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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