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发明名称 SHUSEKIKAIRONOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2632839(B2) 申请公布日期 1997.07.23
申请号 JP19870079531 申请日期 1987.03.31
申请人 TEKISASU INSUTORUMENTSU INC 发明人 KARIPATSUTONAMU BIBETSUKU RAO;JEEMUSU ERU PATAASON
分类号 H01L21/8247;H01L21/70;H01L21/82;H01L21/822;H01L21/8246;H01L27/02;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/112;H01L27/115;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;H01L29/92 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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