| 发明名称 |
TANKAKEISOTANKETSUSHONOSEIZOHOHO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2633403(B2) |
申请公布日期 |
1997.07.23 |
| 申请号 |
JP19910060575 |
申请日期 |
1991.03.25 |
| 申请人 |
SHAAPU KK |
发明人 |
FURUKAWA MASAKI;SUZUKI AKIRA;FUJII YOSHIHISA |
| 分类号 |
C30B25/18;C30B29/36;H01L21/205;(IPC1-7):C30B29/36 |
主分类号 |
C30B25/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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