发明名称 |
HANDOTAIUEEHASEIZOYOPURAZUMASHORIHOHO |
摘要 |
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申请公布号 |
JP2634313(B2) |
申请公布日期 |
1997.07.23 |
申请号 |
JP19900263689 |
申请日期 |
1990.10.01 |
申请人 |
APURAIDO MATERIARUZU INC |
发明人 |
DONARUDO EMU MINTSU;HIROJI HANAWA;SATSUSON SOMEKU;DAN MEIDAN |
分类号 |
C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/316;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/314 |
主分类号 |
C23F4/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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