发明名称 HANDOTAISOCHINOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2633061(B2) 申请公布日期 1997.07.23
申请号 JP19900148997 申请日期 1990.06.06
申请人 MATSUSHITA DENKI SANGYO KK 发明人 TSUJI KAZUHIKO
分类号 H01L21/8238;H01L21/336;H01L27/092;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786;H01L21/823 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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