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发明名称 HAKUMAKUKEISEIHOHO
摘要
申请公布号 JP2633551(B2) 申请公布日期 1997.07.23
申请号 JP19870061238 申请日期 1987.03.18
申请人 TOSHIBA KK 发明人 OKANO HARUO;SEKINE MAKOTO;NOGUCHI SADAHISA
分类号 H01L21/31;C23C16/44;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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