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发明名称 HANDOTAISOCHINOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2633489(B2) 申请公布日期 1997.07.23
申请号 JP19940322676 申请日期 1994.12.26
申请人 HIROSHIMA NIPPON DENKI KK 发明人 KAWAKADO KATSUHIKO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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