Device and method for ellipsometry with multiple detectors,申请号EP19960401670-传众专利搜索

发明名称	Device and method for ellipsometry with multiple detectors
摘要
申请公布号	EP0760475(A3)	申请公布日期	1997.07.23
申请号	EP19960401670	申请日期	1996.07.25
申请人	CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)	发明人	DREVILLON, BERNARD;PAREY, JEAN-YVES
分类号	G01J4/04;G01N21/21;(IPC1-7):G01N21/21	主分类号	G01J4/04
代理机构		代理人
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