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发明名称 SHIRYONOIONKAOYOBISHITSURYOBUNSEKINOTAMENOSOCHI
摘要
申请公布号 JP2633974(B2) 申请公布日期 1997.07.23
申请号 JP19900100323 申请日期 1990.04.18
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 KATO YOSHIAKI
分类号 G01N27/62;H01J37/08;H01J49/04;(IPC1-7):H01J49/04;H01J27/02 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
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