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发明名称 HANDOTAISOSHITOSAIYOKIBANNOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2632762(B2) 申请公布日期 1997.07.23
申请号 JP19920223469 申请日期 1992.07.29
申请人 MITSUI HAITETSUKU KK 发明人 MATSUBARA TOSHA
分类号 C23C18/18;C23F1/00;H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/50 主分类号 C23C18/18
代理机构 代理人
主权项
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