发明名称 IN-LINE AUTOMATIC DIMENSION MEASUREMENT
摘要
申请公布号 JPH09191033(A) 申请公布日期 1997.07.22
申请号 JP19960002279 申请日期 1996.01.10
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 YAMADA TORU
分类号 G01B21/02;H01L21/66;H01L23/50;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01B21/02
代理机构 代理人
主权项
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