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发明名称
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摘要
申请公布号
JPH09191033(A)
申请公布日期
1997.07.22
申请号
JP19960002279
申请日期
1996.01.10
申请人
HITACHI CABLE LTD
发明人
YAMADA TORU
分类号
G01B21/02;H01L21/66;H01L23/50;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01B21/02
代理机构
代理人
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