发明名称 MANUFACTURE OF FIELD-EFFECT TRANSISTOR AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09191019(A) 申请公布日期 1997.07.22
申请号 JP19960261035 申请日期 1996.10.01
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 TANABE MITSURU;YANAGIHARA MANABU;NISHII KATSUNORI;MATSUNO TOSHINOBU
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/338;H01L29/41;H01L29/47;H01L29/80;H01L29/812;H01L29/872;(IPC1-7):H01L21/338;H01L21/306 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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