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发明名称 APPARATUS FOR PULLING UP SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH09188592(A) 申请公布日期 1997.07.22
申请号 JP19960003376 申请日期 1996.01.11
申请人 MITSUBISHI MATERIALS SHILICON CORP;MITSUBISHI MATERIALS CORP 发明人 TAGUCHI HIROAKI;ATAMI TAKASHI;FURUYA HISASHI;KIDA MICHIO
分类号 C30B15/12;C30B29/06;C30B29/42;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/12 主分类号 C30B15/12
代理机构 代理人
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