发明名称 SCANNING ELECTRON MICROSCOPE AND SAMPLE OBSERVATION METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH09190790(A) 申请公布日期 1997.07.22
申请号 JP19960000532 申请日期 1996.01.08
申请人 JEOL LTD 发明人 ISHIMORI YOSHIO
分类号 H01J37/141;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/141 主分类号 H01J37/141
代理机构 代理人
主权项
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