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经营范围
发明名称 MANUFACTURE OF FILM STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH09190996(A) 申请公布日期 1997.07.22
申请号 JP19960161746 申请日期 1996.06.21
申请人 NIKON CORP 发明人 IRITA TAKESHI;SUZUKI YOSHIHIKO
分类号 C23F1/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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