发明名称 PLASMA BEAM S H F DEVICE
摘要
申请公布号 RU2084985(C1) 申请公布日期 1997.07.20
申请号 SU19863133794 申请日期 1986.01.02
申请人 VSEROSSIJSKIJ ELEKTROTEKHNICHESKIJ INSTITUT IM.V.I.LENINA 发明人 PEREVODCHIKOV VLADIMIR I;ZAVYALOV MIKHAIL A;NEGANOVA LYUDMILA A;LISIN VLADIMIR N;MARTYNOV VLADIMIR F;SHAPIRO ALEKSANDR L;TSKHAJ VLADIMIR N
分类号 H01J25/00;H01J23/06;(IPC1-7):H01J25/00 主分类号 H01J25/00
代理机构 代理人
主权项
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