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发明名称 PROCEDE POUR L'ISOLEMENT ELECTRIQUE EN MICRO-ELECTRONIQUE, APPLICABLE AUX CAVITES ETROITES, PAR DEPOT D'OXYDE A L'ETAT VISQUEUX ET DISPOSITIF CORRESPONDANT
摘要
申请公布号 FR2734402(B1) 申请公布日期 1997.07.18
申请号 FR19950005710 申请日期 1995.05.15
申请人 BROUQUET PIERRE 发明人
分类号 H01L21/312;H01L21/316;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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