DEVICE FOR THE PRODUCTION OF PLASMAS BY MICROWAVES

摘要

Eine Vorrichtung zur Erzeugung von Mikrowellenplasmen mit einem Mikrowellenerzeuger (1) und dessen Ankopplung an einen Hohlleiterresonator (5), der eine Plasmakammer (7) umfasst, wird vorgeschlagen, worin die kurze Seite des Querschnitts des Resonators (5) parallel der Achsez zugewandt in der gemeinsamen Wand mit der Kammer (7) liegt und die Mikrowellenleistung aus dem Resonator (5) über Koppelstellen (6) in dieser kurzen Querschnittsseite in die Kammer (7) eingekoppelt wird. Die Koppelstellen sind bevorzugt als azimutale Schlitzkoppler in der gemeinsamen Wand von 5 und 7 ausgeführt.