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发明名称 Verfahren zur Herstellung eines intelligenten Leistungshalbleiterbauelements
摘要
申请公布号 DE69126470(D1) 申请公布日期 1997.07.17
申请号 DE19916026470 申请日期 1991.02.22
申请人 NIPPON MOTOROLA, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ISHIGURO, TAKESHI, AIZUWAKAMATSU-SHI, FUKUSHIMA-KEN, JP
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/761;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/088;H01L27/092;(IPC1-7):H01L27/088;H01L21/82;H01L27/06 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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