发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats, insbesondere mit elektrisch nichtleitenden Schichten
摘要
申请公布号 DE4202425(C2) 申请公布日期 1997.07.17
申请号 DE19924202425 申请日期 1992.01.29
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450 HANAU, DE 发明人 SZCZYRBOWSKI, JOACHIM, DR., 8758 GOLDBACH, DE;TESCHNER, GOETZ, DIPL.-ING., 6460 GELNHAUSEN, DE;BEISWENGER, SIEGFRIED, DR., 8755 ALZENAU, DE
分类号 C23C14/00;C23C14/35;C23C14/44;C23C14/54;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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