发明名称 Verfahren zur Charakterisierung dünner Schichten in der Halbleiterbauelementeproduktion
摘要
申请公布号 DE19526015(C2) 申请公布日期 1997.07.17
申请号 DE19951026015 申请日期 1995.07.17
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 STADTMUELLER, MICHAEL, DR.-ING.-PHYS., 81737 MUENCHEN, DE
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66;G01N21/35 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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