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发明名称
Verfahren zur Charakterisierung dünner Schichten in der Halbleiterbauelementeproduktion
摘要
申请公布号
DE19526015(C2)
申请公布日期
1997.07.17
申请号
DE19951026015
申请日期
1995.07.17
申请人
SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE
发明人
STADTMUELLER, MICHAEL, DR.-ING.-PHYS., 81737 MUENCHEN, DE
分类号
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66;G01N21/35
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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