发明名称 Verfahren zur Abscheidung von Metallschichten
摘要
申请公布号 DE19581161(D2) 申请公布日期 1997.07.17
申请号 DE19951081161 申请日期 1995.10.18
申请人 ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH, 10553 BERLIN, DE 发明人 MEYER, HEINRICH, 14109 BERLIN, DE;SCHULZ, RALF, 13465 BERLIN, DE
分类号 C23C18/31;C23C16/18;C23C18/30;C23C18/32;H01L21/288;H05K3/24;H05K3/38;(IPC1-7):C23C18/31;H01L21/320;H05K3/02;H05K3/18;H05K3/42 主分类号 C23C18/31
代理机构 代理人
主权项
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