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发明名称 Electron flood apparatus for neutralising charge build-up on a substrate during ion implantation
摘要
申请公布号 GB9710380(D0) 申请公布日期 1997.07.16
申请号 GB19970010380 申请日期 1997.05.20
申请人 APPLIED MATERIALS INC 发明人
分类号 H01J37/20;H01J37/02;H01J37/077;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
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