发明名称 HANDOTAISHUSEKIKAIRONOREIAUTOSETSUKEIHOHO
摘要
申请公布号 JP2630078(B2) 申请公布日期 1997.07.16
申请号 JP19910008251 申请日期 1991.01.28
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 NANKO KOJI
分类号 H01L21/82;G06F17/50;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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