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发明名称
HANDOTAISHUSEKIKAIRONOREIAUTOSETSUKEIHOHO
摘要
申请公布号
JP2630078(B2)
申请公布日期
1997.07.16
申请号
JP19910008251
申请日期
1991.01.28
申请人
NIPPON DENKI KK
发明人
NANKO KOJI
分类号
H01L21/82;G06F17/50;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82
主分类号
H01L21/82
代理机构
代理人
主权项
地址
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