| 发明名称 |
Plasma source and method of manufacturing |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0565960(B1) |
申请公布日期 |
1997.07.16 |
| 申请号 |
EP19930105405 |
申请日期 |
1993.04.01 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED |
发明人 |
PARANJPE, AJIT P. |
| 分类号 |
H01J37/08;H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 |
主分类号 |
H01J37/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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