MICROSTRUCTURES AND METHODS FOR MANUFACTURING MICROSTRUCTURES,申请号EP19950918826-传众专利搜索

发明名称	MICROSTRUCTURES AND METHODS FOR MANUFACTURING MICROSTRUCTURES
摘要
申请公布号	EP0783727(A1)	申请公布日期	1997.07.16
申请号	EP19950918826	申请日期	1994.09.09
申请人	BOARD OF SUPERVISORS OF LOUISIANA STATE UNIVERSITY AND AGRICULTURAL AND MECHANICAL COLLEGE	发明人	VLADIMIRSKY, YULI;VLADIMIRSKY, OLGA;SAILE, VOLKER
分类号	G03F7/105;B23K15/08;B23K26/00;B81C1/00;G03F7/00;G03F7/09;G03F7/095;G03F7/11;G03F7/26;H01L21/027;(IPC1-7):G03F5/00;G03F7/20;G03C5/16	主分类号	G03F7/105
代理机构		代理人
主权项
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