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发明名称 DENKAIKOKAGATATORANJISUTANOGEETODENKYOKUKEISEIHOHO
摘要
申请公布号 JP2630304(B2) 申请公布日期 1997.07.16
申请号 JP19950113637 申请日期 1995.04.15
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 WADA SHIGEMI
分类号 H01L29/812;H01L21/338;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
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