IONSHORIHOHO,申请号JP19920148368-传众专利搜索

发明名称	IONSHORIHOHO
摘要
申请公布号	JP2630165(B2)	申请公布日期	1997.07.16
申请号	JP19920148368	申请日期	1992.05.15
申请人	NITSUSHIN DENKI KK	发明人	ANDO YASUNORI;KANESHIRO MITSUHIRO
分类号	G01R29/00;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317	主分类号	G01R29/00
代理机构		代理人
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