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发明名称 Radiation sensitive material and method for forming pattern.
摘要
申请公布号 EP0663616(A3) 申请公布日期 1997.07.16
申请号 EP19940309847 申请日期 1994.12.28
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 TAKECHI, SATOSHI;TAKAHASHI, MAKOTO;KAIMOTO, YUKO
分类号 C08K5/375;G03F7/004;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/039;H05K3/06;C08L33/06;C08L33/20;C08L25/18 主分类号 C08K5/375
代理机构 代理人
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