脉冲化直流电源的电弧控制和开关元件的保护

摘要

一种直流溅镀工艺应用脉冲化直流电压，在多数情况下，反向偏压脉冲部分将减少或消除飞弧的源。如果机械飞弧检测器(30)检测到所加电压连续两个周期落入飞弧的特征范围，则将所加电源中断一段期间，并加上反向偏压。过压检测和箝位电路(36)，如果连续两个周期超过过压阈值，则中断供电。

主权项

1.一种脉冲化直流溅镀工艺，其中，靶材料从等离子室中的一个导电靶上溅射出去，溅射的材料喷镀在等离子室中的基底上，在该工艺中，所述靶和所述等离子室中的一个阳极之间所加的直流电压使存在于所述等离子室中惰性气体的离子撞击靶，将所述靶材料的原子溅射出去，所加的电压具有预定脉冲频率的脉冲波形，脉冲的每个周期包括一个相对于所述阳极为预定负电平和预定第一脉冲宽度的负电压部分、和一个具有预定第二脉冲宽度的相对于所述阳极为正的反向电压电平；该工艺的特征在于，自动对所述靶和阳极之间所加电压进行过压监测，如果连续在预定的多个周期中、在所述负电压部分期间内，所述所加电压超过预定的负过压阈，则自动中断所加直流电压；该工艺的特征还在于，在每个所述负脉冲部分的期间中、在预定的窗口时间间隔内，对所述靶和阳极之间的所加电压进行飞弧监测，如果连续在预定的多个周期中、在所述窗口时间间隔内，所述所加电压在是飞弧电压特征的范围内，则自动中断所述所加直流电压。