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发明名称 Method of forming relief patterns by i-line light irradiation
摘要
申请公布号 EP0624826(B1) 申请公布日期 1997.07.16
申请号 EP19940810267 申请日期 1994.05.05
申请人 OCG MICROELECTRONIC MATERIALS INC. 发明人 HUEGLIN, DIETMAR, DR.;ROHDE, OTTMAR, DR.;FALCIGNO, PASQUALE ALFRED;HAGEN, SIGURD, DR.
分类号 C08G73/10;G03F7/029;G03F7/031;G03F7/037;G03F7/038;G03F7/30;G03F7/40;H01L21/312;H05K3/28;(IPC1-7):G03F7/038;G03F7/20 主分类号 C08G73/10
代理机构 代理人
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