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发明名称 KARAAGAZOJUKOSOSHI
摘要
申请公布号 JP2632063(B2) 申请公布日期 1997.07.16
申请号 JP19900051164 申请日期 1990.03.02
申请人 FUJI SHASHIN FUIRUMU KK 发明人 KOYAMA KOICHI;YAMAGUCHI NAOTO;MYASAKA TSUTOMU
分类号 G01J1/00;G03C1/73;H01L27/146;H01L27/30;H01L49/00;H01L51/00;H01L51/30;H04N1/028;H04N9/07;(IPC1-7):G01J1/00 主分类号 G01J1/00
代理机构 代理人
主权项
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