发明名称 KAGAKUKISOSEICHOSOCHI
摘要
申请公布号 JP2630216(B2) 申请公布日期 1997.07.16
申请号 JP19930234816 申请日期 1993.09.21
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 HARASHIMA KEIICHI
分类号 H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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